萬級無塵車間潔凈度要求:
萬級凈化車間的潔凈度:潔凈度10000級cleanliness class 10000(P2萬級實驗室即ISO7級)即大于等于0.5μm的塵粒數大于35000粒/m3 (35粒/L)到小于等于350000粒/m3(350粒/L);大于等于5μm的塵粒數大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3(3粒/L)。
萬級凈化車間的壓差及溫濕度控制:
1、溫度:干盤管系統(tǒng)控制。
2、濕度:空調箱調節(jié)通過感測的信號,控制三通閥開度來調節(jié)空調箱盤管進水量。
3、正壓:空調箱調節(jié),根據靜壓感測的信號,自動調節(jié)空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節(jié)進入室內的新風量。
萬級凈化車間的檢測標準:
氣流速度及其均勻度檢測,是無塵室效果的其他各項檢測的前提,這項檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。
1、室內潔凈度的檢測:潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別,可采用粒子計數器檢測。
2、自凈時間的檢測:通過確定自凈時間,查明潔凈室內部發(fā)生污染時恢復其原有潔凈度的能力。
3、照度的檢測:照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
4、振動的檢測:振動檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動幅度。
5、溫、濕度的檢測:溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測無塵室的送風溫度,檢測有代表性測點的空氣溫度,檢測無塵室中心點的空氣溫度,檢測敏感元件處的空氣度,檢測室內空氣相對溫度,檢測回風溫度。
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